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会议论文 准光学微波等离子体谐振腔的计算机模拟
出处:第十四届全国微波能应用学术会议暨2009年微波创造美的生活高峰论坛
摘要:微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)是制备高纯度金刚石薄膜的一种重要手段。对MPCVD装置的仿真与优化,可节... 显示全部
关键词: 金刚石薄膜 微波等离子谐振腔 化学气相沉积 结构仿真 计算机模拟
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