中文会议： 第十四届全国微波能应用学术会议暨2009年微波创造美的生活高峰论坛论文集

会议日期： 2009-11-01

会议地点： 广东顺德

主办单位： 中国电子学会

作　　者： ; ; ;

机构地区： 电子科技大学物理电子学院

出　　处： 《第十四届全国微波能应用学术会议暨2009年微波创造美的生活高峰论坛》

摘　　要： 微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)是制备高纯度金刚石薄膜的一种重要手段。对MPCVD装置的仿真与优化，可节约其设计和改进的时间。结合准光学理论提出了半球形微波等离子体谐振腔，通过高频结构仿真器HFSS计算电场强度分布，并与已有的椭球形微波等离子体谐振腔比较，发现这种新型的谐振腔有望用于制备大面积、高质量的金刚石薄膜。

关 键 词： 金刚石薄膜 微波等离子谐振腔 化学气相沉积 结构仿真 计算机模拟

领　　域： [一般工业技术]