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会议论文 纳米级定位技术的研究
出处:中国仪器仪表学会精密机械分会99''精密工程学术讨论会
摘要:该文根据纳米级定位技术的需求,提出了机构、驱动、检测一体化的定痊技术和控制方法,分析了其中的关键问... 显示全部
关键词: 纳米定痊 压电陶瓷 纳米测量
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