中文会议： 仪器仪表学报(1999第4期增刊)

会议日期： 1999-11-25

会议地点： 成都

主办单位： 中国仪器仪表学会

出版方 ： 《仪器仪表学报》杂志社

出版日期： 1999-08-01

出版地： 北京

作　　者： ; ; ; ; ;

机构地区： 哈尔滨工业大学

出　　处： 《中国仪器仪表学会精密机械分会99''精密工程学术讨论会》

摘　　要： 该文根据纳米级定位技术的需求，提出了机构、驱动、检测一体化的定痊技术和控制方法，分析了其中的关键问题，并介绍了作者设计的几种典型系统的原理和实物。机构、驱动、检测一体化的定位技术是根据纳米级定位的高精度要求，将高精度驱动器、无间隙和无无摩擦的弹性纲构、高精度传感器和有效的控制算法有机地结合，系统不但具有很好的静态特性，还具有较好的动态性能。

关 键 词： 纳米定痊 压电陶瓷 纳米测量

分 类 号： [TB3]

领　　域： [一般工业技术]