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会议论文 机器人化纳米刻画的建模及实时显示研究
出处:中国仪器仪表学会第九届青年学术会议
摘要:利用AFM探针刻画方式可进行MEMS掩膜图案等的制备与修复研究,本文针对软朔性材料,建立了AFM探针刻画时的刻... 显示全部
关键词: 机器人 纳米刻画 刻痕尺寸模型 软朔性材料 探针
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