中文会议： 中国仪器仪表学会第九届青年学术会议论文集

会议日期： 2007-10-01

会议地点： 合肥

主办单位： 中国仪器仪表学会

作　　者： ; ; ; ;

机构地区： 中国科学院沈阳自动化研究所机器人学重点实验室

出　　处： 《中国仪器仪表学会第九届青年学术会议》

摘　　要： 利用AFM探针刻画方式可进行MEMS掩膜图案等的制备与修复研究,本文针对软朔性材料,建立了AFM探针刻画时的刻痕尺寸模型,依据该模型及探针的实际受力与位置信息,可得到刻痕的实时位置与尺寸,并借助虚拟现实技术将刻画过程实时显示在视觉界面上。在上述研究基础上,操作者可在线控制纳米刻画的过程及结果,对聚酯基片的纳米刻画实验初步验证了上述模型的有效性。

关 键 词： 机器人 纳米刻画 刻痕尺寸模型 软朔性材料 探针

分 类 号： [TG]

领　　域： [金属学及工艺]