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会议论文 MEMS微悬臂梁在冲击下的粘附失效预测
出处:第八届中国微米/纳米技术学术年会
摘要:MEMS(Micro-electronics Mechanical System)的可靠性已经成为它能否成功地实现商品化的一个重要问题.多晶... 显示全部
关键词: 微悬臂梁 粘附失效 预测模型
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