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会议论文 采用磁过滤阴极弧沉积技术制备含Ti类金刚石薄膜的研究
出处:2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议
摘要:采用磁过滤阴极弧沉积技术以金属Ti为阴极在真空室中加入C2H2气体来制备含Ti类金刚石薄膜,研究不同的过滤弯... 显示全部
关键词: 磁过滤 类金刚石膜 阴极弧沉积
会议论文 类金刚石膜的制备及应用
出处:中国超硬材料发展论坛暨第2届中国金刚石相关材料及应用学术研讨会
摘要:类金刚石(DLC)膜由于其良好的特性被广泛应用于各个领域,文章介绍了类金刚石膜的制备方法及特点,并说明了... 显示全部
关键词: 类金刚石膜 薄膜制备 耐磨损高硬度 类金刚石纤维 金刚石磨料
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