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会议论文 脉冲偏压电弧离子镀基础问题及应用研究
出处:TFC'07全国薄膜技术学术研讨会
摘要:本文对脉冲偏压电弧离子镀基础问题进行了研究。结果表明,把脉冲偏压引入电弧离子镀工艺保持了其原有的高... 显示全部
关键词: 离子镀层 离子沉积 脉冲偏压 离子镀工艺
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