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会议论文 带栅极定位镀膜硅微尖锥阵列研制及其场发射特性研究
出处:第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术年会
摘要:本文介绍了制备带栅极定位镀膜硅微尖锥阵列的技术,并对面积为0.25mm2、40×40DLC薄膜的硅微尖锥阵列的样品... 显示全部
关键词: 冷阴极材料 半导体薄膜 硅微尖锥
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