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会议论文 直流反应磁控溅射相关工艺条件对TiO2薄膜表面形貌的影响
出处:第八届真空冶金与表面工程学术会议
摘要:应用DC(直流)反应磁控溅射设备在硅基底上制备TiO2薄膜,为将来应用磁控溅射方法制备TiO2染料敏化太阳电池总... 显示全部
关键词: 直流反应磁控溅射 二氧化钛染料敏化太阳电池 表面形貌 二氧化钛薄膜
会议论文 靶基距对直流反应磁控溅射制备TiO2薄膜的光学性质的影响
出处:第八届全国光伏会议暨中日光伏论坛
摘要:本文应用DC(直流)反应磁控溅射设备在硅基底上制备TiO2 薄膜,在固定的电源功率下,氩气流量为42.6sccm,... 显示全部
关键词: 二氧化钛薄膜 直流反应磁控溅射 靶基距 反射率
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