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会议论文 热壁外延生长GaAs/导电玻璃薄膜
出处:中国第七届光伏会议
摘要:本文报道以导电玻璃为衬底,采用热壁外延方法,制备GaAs多晶薄膜材料.采用电子探针(EPMA)测定薄膜的组分、表... 显示全部
关键词: 导电玻璃 太阳电池 薄膜材料 薄膜 热壁外延生长 薄膜制备
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