聚类工具

0
帮助 本站公告
您现在所在的位置:网站首页 > 知识中心 > 检索结果
排序:
会议论文 HfO2薄膜的制备与光学性能
出处:第六届中国功能材料及其应用学术会议
摘要:采用射频磁控反应溅射法,以高纯热压HfO2陶瓷为靶材,在Si衬底上成功制备出HfO2薄膜。系统研究了工艺参数对... 显示全部
关键词: 射频磁控反应溅射法 薄膜 热压 陶瓷 沉积速率 光学性能
找到1条结果
`