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会议论文 DVD测头S曲线的变化规律受被测表面特性的影响
出处:第九届全国光电技术学术交流会
摘要:光学探头由于其非接触和无损坏式的测量特性,在精密测量中受到了越来越多的关注。其中,DVD激光头由于高集... 显示全部
关键词: 聚焦误差信号 曲线 激光头
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