中文会议： 第九届全国光电技术学术交流会论文集

会议日期： 2010-05-01

会议地点： 北京

主办单位： 中国宇航学会,中国航空学会,中国兵工学会,中国光学学会,中国电子学会

出版方 ： 中国航天科工集团公司

作　　者： ; ; ; ;

机构地区： 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院

出　　处： 《第九届全国光电技术学术交流会》

摘　　要： 光学探头由于其非接触和无损坏式的测量特性，在精密测量中受到了越来越多的关注。其中，DVD激光头由于高集成度被广泛运用到了光学探头中。DVD激光头采用像散式的光学原理，通过四象限探测器输出聚焦误差电压信号FES(即S曲线)。光学探头将该电压信号反馈回控制单元，从而实现光学探头的自动控制功能。但实际中的被测物及其表面的特性各不相同，相应的S曲线变化也各不相同。因此，在实验的基础上，重点讨论了DVD激光头在对具有不同特性的被测物测量时S曲线的变化情况。这些不同的特性包括：物体的材料、表面粗糙度、表面加工方式、倾角不同的斜面和测量位置不同的曲面。讨论结果将会对光学探头在精密测量中的应用具有一定的参考意义。

关 键 词： 聚焦误差信号 曲线 激光头

分 类 号： [TP2 U44]

领　　域： [自动化与计算机技术] [自动化与计算机技术] [建筑科学] [交通运输工程]