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会议论文 干法与湿法氧化提纯冶金级硅
出处:第二十八届全国化学与物理电源学术年会
摘要:研究了冶金级硅粉经湿法氧化后,再经氢氟酸处理,Fe、Al、Ca、Ti、Cu等主要金属杂质含量的变化,并与干法氧化... 显示全部
关键词: 湿法氧化 干法氧化 冶金级硅 金属杂质
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