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干法与湿法氧化提纯冶金级硅

中文会议: 第二十八届全国化学与物理电源学术年会论文集

会议日期: 2009-11-19

会议地点: 广东广州

出版方 : 中国电子学会化学与物理电源技术分会、中国电工技术学会氢能发电装置专业委员会、中国电工技术学会电池专业委员会、中国化学与物理电源行业协会

作  者: ; ; ; ; ;

机构地区: 华南师范大学化学与环境学院

出  处: 《第二十八届全国化学与物理电源学术年会》

摘  要: 研究了冶金级硅粉经湿法氧化后,再经氢氟酸处理,Fe、Al、Ca、Ti、Cu等主要金属杂质含量的变化,并与干法氧化进行了对比。实验结果表明,湿法氧化对主要杂质的去除率要优于干法氧化。实验同时研究了湿法氧化后酸洗浓度、酸洗时间对金属杂质去除效果的影响。

关 键 词: 湿法氧化 干法氧化 冶金级硅 金属杂质

分 类 号: [TM914.4]

领  域: [电气工程]

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