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会议论文 不同工作参数下Ni/Ag双层膜GDOES深度谱的比较
出处:粤港澳大湾区真空科技与宽禁带半导体应用高峰论坛暨2017年广东省真空学会学术年会
摘要:溅射深度剖析现已成为测量材料表层及薄膜中元素成分分布的一种常规技术,对其工作参数的研究是其发展迅速的... 显示全部
关键词: 辉光放电发射光谱 深度剖析 薄膜 自偏压 溅射速率
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