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会议论文 LIGA-EDM复合技术的研究
出处:第五届全国微米/纳米技术学术会议
摘要:提出LIGA-EDM复合技术,即采用LIGA技术制备工具电极的微细电火花加工技术.通过同步辐射深度光刻得到的胶结... 显示全部
关键词: 微细加工 技术 微细电火花加工 深度光刻
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