中文会议： 压电与声光2001第23卷5增刊

会议日期： 2001-10-01

会议地点： 重庆

主办单位： 国家自然科学基金委员会

作　　者： ; ; ; ; ; (张院春）; (邹丽芸）;

机构地区： 中国科学院高能物理研究所

出　　处： 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》

摘　　要： 提出LIGA-EDM复合技术,即采用LIGA技术制备工具电极的微细电火花加工技术.通过同步辐射深度光刻得到的胶结构厚度达2mm、深宽比约为100,使用电铸技术得到厚度达1mm的铜工具电极,利用该电极进行微细电火花加工实验,在不锈钢上加工出异形小孔阵列.

关 键 词： 微细加工 技术 微细电火花加工 深度光刻

分 类 号： [TN]

领　　域： [电子电信]