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会议论文 微电容式Lamb波器件及其制作
出处:吉林省第四届科学技术学术年会
摘要:针对目前Lamb波器件功能材料层的制作工艺与传统集成电路工艺不兼容的问题,提出了激励和接收均使用电容式叉... 显示全部
关键词: 微电容式 波器件 叉指换能器 频率响应 响应特性
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