中文会议： 吉林省第四届科学技术学术年会论文集

会议日期： 2006-10-01

会议地点： 长春

主办单位： 吉林省科协

作　　者： ; ; ; ; ; ;

机构地区： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

出　　处： 《吉林省第四届科学技术学术年会》

摘　　要： 针对目前Lamb波器件功能材料层的制作工艺与传统集成电路工艺不兼容的问题,提出了激励和接收均使用电容式叉指换能器(CIDT:Capacitive Interdigital Transducers)的小型化微电容式Lamb波器件,并给出了器件的设计原理、结构和MEMS制作工艺。器件采用CIDT直接激励和接收Lamb波非对称模式的方式,解决了机电耦合效率的问题。初步研究了器件的频率响应特性。实验表明:器件的制作工艺和集成电路(IC: Integrated Circuit)工艺完全兼容。由于器件的振动元件硅薄膜对质量等物理量敏感,因而微电容式Lamb波器件可以用来制作微传感器。

关 键 词： 微电容式 波器件 叉指换能器 频率响应 响应特性

分 类 号： [TN]

领　　域： [电子电信]