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会议论文 AlGaN/GaN分布布拉格反射镜的设计与表征
出处:首届全国先进焦平面技术研讨会
摘要:设计了反射中心波长为500nm的Al0.3Ga0.7N/GaN和AlN/GaN两种分布布拉格反射镜(DBR),并采用光学传递矩阵方法... 显示全部
关键词: 氮化镓 分布布拉格反射镜 光学传递矩阵方法 化学气相淀积
会议论文 立式HVPE反应器生长GAN模拟研究
出处:第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
摘要:利用有限元法对新设计的HVPE系统工艺参数进行了优化,发现衬底与气体入口距离为5厘米时,沉积的均匀性较好。... 显示全部
关键词: 氮化镓 气相外延 流体动力学 有限元法 外延生长
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