中文会议： 激光与红外

会议日期： 2005-08-01

会议地点： 乌鲁木齐

主办单位： 中国电子学会

作　　者： ; ; ; ; ; ; ; ; ; ;

机构地区： 南京大学物理学院江苏省光电信息功能材料重点实验室

出　　处： 《首届全国先进焦平面技术研讨会》

摘　　要： 设计了反射中心波长为500nm的Al0.3Ga0.7N/GaN和AlN/GaN两种分布布拉格反射镜(DBR),并采用光学传递矩阵方法对其光谱反射率进行了理论上的模拟.采用金属有机物化学气相淀积(MOCVD)技术在蓝宝石衬底上制备了样品.实际测量的样品反射谱中有明显的反射峰,但峰值波长与理论设计有偏差,峰值反射率也比理论设计值偏低.SEM和AFM测量结果表明:这是由生长层厚与设计的偏差和界面不平整引起的.

关 键 词： 氮化镓 分布布拉格反射镜 光学传递矩阵方法 化学气相淀积

领　　域： [电子电信]