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会议论文 氧气压力对脉冲激光沉积ZNO薄膜的形貌及光学性质影响
出处:第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
摘要:使用脉冲激光沉积(PLD)方法在石英(SIO2)和单晶硅(111)基底上制备了具有C轴择优取向的ZNO薄膜。采用X射线衍... 显示全部
关键词: 氧气压力 脉冲激光沉积 光学性质 氧化锌薄膜 光学透过率
会议论文 氧气压力对PLD ZnO薄膜形貌及光学性质影响
出处:第十五届全国化合物半导体材料,微波器件和光电器件学术会议
摘要:使用脉冲激光沉积(PLD)方法在石英(SiO2)和单晶Si(111)基底上制备了具有c轴择优取向的ZnO薄膜。采用X... 显示全部
关键词: 氧气压力 脉冲激光沉积 氧化锌
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