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会议论文 氧含量对RF磁控溅射ZNO薄膜结构特性的影响
出处:第十四届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
摘要:本文采用射频(RF)磁控溅射的方法,通过改变工作气氛中氩气和氧气的比例,在SI(100)衬底上沉积出具有高度C轴... 显示全部
关键词: 薄膜 射频磁控溅射 分析 氧含量 射频
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