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会议论文 氢化微晶硅薄膜制备过程中氧污染问题的初步研究
出处:中国第七届光伏会议
摘要:本文对不同的本底真空条件下,采用甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术沉积的氢化微晶硅薄膜(μ... 显示全部
关键词: 氢化微晶硅薄膜 化学气相沉积 光发射谱 氧污染 薄膜制备
会议论文 弱硼掺杂补偿对氢化微晶硅薄膜制备与特性的影响
出处:第八届全国光伏会议暨中日光伏论坛
摘要:本文对甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术制备氢化微晶硅薄膜(μc-Si:H)的弱硼掺杂补偿特... 显示全部
关键词: 氢化微晶硅薄膜 等离子体增强 化学气相沉积 掺杂补偿 薄膜制备
会议论文 氢化微晶硅薄膜的VHF-PECVD法制备与等离子体诊断
出处:第九届中国太阳能光伏会议
摘要:采用甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术,在不同等离子体激发频率条件下制备了氢化微晶硅(μc-... 显示全部
关键词: 氢化微晶硅薄膜 化学气相沉积 等离子体诊断 沉积速率 结构特性
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