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会议论文 Fe-N薄膜的时效研究
出处:第十一届全国磁学和磁性材料会议
摘要:本文利用对向靶直流磁控溅射制备Fe-N膜,并对其时间稳定性进行了跟踪实验.结果表明,制备的Fe-N膜在室温条件... 显示全部
关键词: 铁氮化合物 薄膜 时效 磁控溅射法
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