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会议论文 接触界面对键合换能器工作性能的影响
出处:中国声学学会功率超声分会2007年学术年会
摘要:接触界面对超声能量传递与振动特性的影响是各类压电换能器的共性问题。在超声芯片封装领域,各子部分之间的... 显示全部
关键词: 接触界面 换能系统 超声键合 键合换能器 振动特性 能量传递
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