中文会议： 中国声学学会功率超声分会2007年学术年会论文汇编

会议日期： 2007-11-01

会议地点： 宁波

主办单位： 中国声学学会

作　　者： ; ; ; ;

机构地区： 中南大学机电工程学院

出　　处： 《中国声学学会功率超声分会2007年学术年会》

摘　　要： 接触界面对超声能量传递与振动特性的影响是各类压电换能器的共性问题。在超声芯片封装领域,各子部分之间的接触界面是影响系统超声能量传递的强非线性因素,直接影响芯片与基板的键合质量。本文通过有限元方法与激光多谱勒测振仪等技术,获得系统中接触界面对超声能量传递与振动特性的影响规律,发现不合理的接触界面会引发系统多模态与频率混叠效应、超声能量输出不稳定、系统迟滞响应等,导致键合强度下降、芯片与基板倾斜、键合效率下降等封装缺陷。研究结果对理解超声键合与系统设计具有指导意义。

关 键 词： 接触界面 换能系统 超声键合 键合换能器 振动特性 能量传递

分 类 号： [TB]

领　　域： [一般工业技术]