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会议论文 Si(111)衬底上3C-SiC的CVD异质外延生长
出处:第十二届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
摘要:以乙烯和硅烷为生长气源、在900~1000℃下、用化学气相淀积方法在硅(111)衬底上外延生长了碳化硅薄膜.X射线... 显示全部
关键词: 外延生长 化学气相淀积 射线衍射谱 俄歇电子能谱 拉曼散射 碳化硅薄膜
会议论文 基于纳米切割的三维纳米间隙阵列及其拉曼增强性质
出处:2015年全国高分子学术论文报告会
摘要:本文中,我们利用一种新兴的高分子加工方法纳米切割,对包埋有金-铝-金三层纳米结构的树脂块进行超薄切片(20... 显示全部
关键词: 纳米切割 纳米间隙 三维阵列 等离子体共振 表面增强 拉曼散射
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