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会议论文 原子层镀膜技术的新近发展及其在工业中的应用
出处:第七届广东省真空学会学术研讨会
摘要:本文首先回顾了ALD发展历史,介绍了ALD的基本工艺和ALD薄膜具有的优良特性,并与传统的薄膜制备工艺进行了对... 显示全部
关键词: 原子层沉积 自限制 化学气相沉积 物理气相沉积 原子层镀膜 微电子机械系统
会议论文 无线通信设备中的MEMS技术
出处:2003第三届精密工程学术研讨会
摘要:随着无线通信技术在全世界范围内迅猛发展,射频微电子机械系统(RF-MEMS)技术在通信设备中的应用及其前景日... 显示全部
关键词: 微电子机械系统 无线通信 射频微电子机械 通信设备
会议论文 MEMS微悬臂梁激励耦合非线性动力特性分析
出处:2004年全国振动工程及应用学术会议
摘要:在微电子机械系统(MEMS)中,存在着固有非线性、多能域耦合产生的非线性和一些尚未引起注意的机械非线性.静... 显示全部
关键词: 微电子机械系统 悬臂梁 参数激励 强迫激励 非线性动力
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