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会议论文 Mg掺杂的AlGaN的MOCVD生长
出处:第三届全国先进焦平面技术研讨会
摘要:本文对利用金属有机物化学汽相沉积(MOCVD)方法制备的Mg掺杂AlGaN薄膜进行了研究。根据Raman光谱对Mg掺杂Al... 显示全部
关键词: 半导体薄膜 薄膜生长 汽相淀积 汞掺杂量 岛状晶核
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