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会议论文 MOCVD制备AlGaN基多波段布拉格反射镜
出处:第十四届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
摘要:本文研究了利用金属有机物化学汽相淀积系统(MOCVD)制备AlGaN基多波段布拉格反射镜.多个布拉格反射镜的工作... 显示全部
关键词: 金属有机物化学气相淀积 布拉格反射镜 光学结构 射线衍射谱
会议论文 Si(111)衬底上3C-SiC的CVD异质外延生长
出处:第十二届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
摘要:以乙烯和硅烷为生长气源、在900~1000℃下、用化学气相淀积方法在硅(111)衬底上外延生长了碳化硅薄膜.X射线... 显示全部
关键词: 外延生长 化学气相淀积 射线衍射谱 俄歇电子能谱 拉曼散射 碳化硅薄膜
找到2条结果
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