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会议论文 MEMS封装技术及其可靠性
出处:中国电子学会可靠性分会第十三届学术年会
摘要:MEMS日益成为前沿的研究领域,而其可靠性研究因为种种原因显得相对滞后.本文就MEMS封装可靠性问题进行了介... 显示全部
关键词: 封装技术 可靠性
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