聚类工具

0
帮助 本站公告
您现在所在的位置:网站首页 > 知识中心 > 检索结果
排序:
会议论文 带栅极结构硅纳米线场发射阵列的研究
出处:第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术年会
摘要:本文采用纳米掩模自组装和等离子体各向异性刻蚀相结合的技术,制备出了带栅极结构的单晶硅纳米线场发射阵列... 显示全部
关键词: 场发射阵列 硅纳米线 掩模组装
找到1条结果
`