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会议论文 静电驱动阶梯型微悬臂梁振动特性分析
出处:第十二届全国振动理论及应用学术会议
摘要:阶梯型微悬臂梁是低驱动电压MEMS器件中广泛采用的一种典型的低刚度结构。本文提出了阶梯型微悬臂梁固有频... 显示全部
关键词: 振动特性 [3869329]微悬臂梁 吸合电压
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