中文会议： 第十二届全国振动理论及应用学术会议论文集

会议日期： 2017-10-20

会议地点： 中国广西南宁

主办单位： 中国振动工程学会、南京航空航天大学机械结构力学及控制国家重点实验室

出版日期： 2017-10-20

作　　者： (）;

机构地区： 工业和信息化部电子第五研究所

出　　处： 《第十二届全国振动理论及应用学术会议》

摘　　要： 阶梯型微悬臂梁是低驱动电压MEMS器件中广泛采用的一种典型的低刚度结构。本文提出了阶梯型微悬臂梁固有频率近似解,并揭示了其振动特性与吸合特性的独特规律。首先基于欧拉-伯努利梁和修正的偶应力理论,建立阶梯型微悬臂梁运动方程;采用均布载荷作用下阶梯型微悬臂梁的静态变形函数描述微梁位移函数,将微梁运动方程转换为单自由度模型,获得静电力作用下微梁固有频率计算模型;通过有限元仿真对比验证了模型准确性,研究了

关 键 词： 振动特性 微悬臂梁 吸合电压

领　　域： []