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会议论文 MEMS中的封装技术研究
出处:中国微米/纳米第六届学术年会
摘要:MEMS中的封装工艺与半导体工艺中的封装具有一定的相似性,因此,早期MEMS的封装大多借用半导体中现成的工艺.... 显示全部
关键词: 微机电系统 芯片级封装 半导体工艺 封装工艺
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