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会议论文 一种PDMS微型分流器的研制
出处:第三届全国微全分析系统学术会议
摘要:本文采用三层光刻工艺制作了基于PDMS的微型分流器.引入牺牲层技术,解决了不同胶层间的界面互融问题,讨论了... 显示全部
关键词: 分流器 牺牲层技术 光刻工艺 微流控制
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