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会议论文 测量薄膜折射率的光栅衍射干涉方法
出处:第十届全国光电技术与系统学术会议
摘要:折射率是薄膜的主要光学参数之一.本文提出一种利用光栅衍射干涉测量薄膜折射率的方法.实验表明:测量干涉条... 显示全部
关键词: 折射率 薄膜测量 测量方法 光栅衍射干涉法
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