中文会议：
光电子技术与信息/2003.8增刊
会议日期：
2003-08-01
会议地点：
长沙
主办单位：
中国光学学会
作 者：
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机构地区：
华南师范大学物理与电信工程学院物理系
出 处：
《第十届全国光电技术与系统学术会议》
摘 要：
折射率是薄膜的主要光学参数之一.本文提出一种利用光栅衍射干涉测量薄膜折射率的方法.实验表明:测量干涉条纹精度达λ/10~λ/20,测量薄膜折射率精度可达0.01以上.
关 键 词：
折射率
薄膜测量
测量方法
光栅衍射干涉法
领 域：
[理学]
[一般工业技术]
