聚类工具

0
帮助 本站公告
您现在所在的位置:网站首页 > 知识中心 > 检索结果
排序:
会议论文 前处理蓝宝石衬底上生长高质量GaN薄膜
出处:第十四届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
摘要:采用化学方法腐蚀部分c-面蓝宝石衬底,在腐蚀区域形成一定的图案,利用LP-MOCVD在此经过表面处理的蓝宝石衬... 显示全部
关键词: 前处理 蓝宝石衬底 薄膜 外延生长 光学质量
找到1条结果
`