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会议论文 大功率溅射一步法制备的自调节Cu/CuO超疏水电极涂层
出处:粤港澳大湾区真空科技创新发展论坛暨2018年广东省真空学会学术年会
摘要:集成电路是现代工业中智能设备的基本组成部分,在其长期服役的过程中,腐蚀性环境下的电极和导线上的灰尘与... 显示全部
关键词: Cu电极薄膜 一步法大功率溅射 [9002347]超疏水性 易清洁性
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