中文会议： 粤港澳大湾区真空科技创新发展论坛暨2018年广东省真空学会学术年会论文集

会议日期： 2018-11-30

会议地点： 中国广东肇庆

主办单位： 广东省真空产业技术创新联盟;广东省真空学会

作　　者： (）;

机构地区： 北京大学深圳研究生院

出　　处： 《粤港澳大湾区真空科技创新发展论坛暨2018年广东省真空学会学术年会》

摘　　要： 集成电路是现代工业中智能设备的基本组成部分,在其长期服役的过程中,腐蚀性环境下的电极和导线上的灰尘与腐蚀很容易引起短路或打火。本文介绍了一种超疏水Cu/CuO电极薄膜,该薄膜通过一步法大功率磁控溅射进行制备,并且在腐蚀环境中具有易清洁性和优异的耐腐蚀性。同时,我们研究了从Cu(200)到Cu(111)的择优取向的自调节过程以及在膜层大功率放电中生长梯度温度下表面微/纳米棒形貌的形成过程。通过在空气

关 键 词： 电极薄膜 一步法大功率溅射 超疏水性 易清洁性

领　　域： []