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学位论文 超精密运动平台模型辨识研究
摘要:光刻机是一个涉及精密机械、精密控制、精密测量等多学科的机电一体化的高端精密制造装备,其发展受到光学... 显示全部
关键词: 精密运动平台 参数辨识 自适应遗传算法 递阶辨识 机械谐振
学位论文 基于音圈电机驱动的刚柔耦合精密运动平台设计
摘要:随着IC产业、微纳加工制造、生物医学工程和精密测量工程等的快速发展,对精密运动平台的精度和行程提出了更... 显示全部
关键词: [6969724]刚柔耦合 [1020584]音圈电机 精密运动平台 [1710962]柔性铰链 [7624262]PID控制 定位精度
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