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学位论文 FAB工艺失效分析中综合分析方法和应用研究
摘要:伴随着信息时代的快速发展,集成电路在人们的生活中所占的比重越来越大,集成电路公司数量也呈爆炸式增长... 显示全部
关键词: 颗粒清洗 失效分析 通孔断裂 晶圆级温度循环试验 集成电路 电应力模型
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