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学位论文 超声马达驱动式微小型电火花加工系统的研究
摘要:由于具有无宏观作用力、加工单位小、可控性好等优点,电火花加工在微细加工中显示出了非常巨大的潜力。作... 显示全部
关键词: 电火花加工 超声马达驱动 微细加工 微能脉冲电源 控制系统
学位论文 高支化碱溶性聚酯的合成及其微光学光刻胶
摘要:该论文是关于高支化碱溶性感光聚合物的合成及其抗蚀剂在连续深浮雕微光学元件加工中的应用研究.设计了用偏... 显示全部
关键词: 高支化聚合物 丙烯酸聚酯 光固化 光致抗蚀剂 微光学元件 微细加工
学位论文 三维金属微结构模具的叠层拟合成形与应用
摘要:随着微机电系统(MEMS)的发展和应用,微制件已广泛应用于微电子器件、精密机械、生物医疗以及航空航天等领域... 显示全部
关键词: 微细加工 微模具 飞秒激光 线切割 微细电阻滑焊 热扩散焊 微制件
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