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学位论文 高支化碱溶性聚酯的合成及其微光学光刻胶
摘要:该论文是关于高支化碱溶性感光聚合物的合成及其抗蚀剂在连续深浮雕微光学元件加工中的应用研究.设计了用偏... 显示全部
关键词: 高支化聚合物 丙烯酸聚酯 光固化 光致抗蚀剂 微光学元件 微细加工
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