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期刊文章 磁控反应溅射氧流量变化对TiO2薄膜影响的实验研究
出处:真空与低温 2007年第3期 163-167,共5页
摘要:通过中频交流磁控溅射设备,利用金属Ti靶制备出了有一定厚度的、质量较好的TiO2薄膜,TiO2薄膜被沉积在玻... 显示全部
关键词: 纳米二氧化钛 薄膜 光电效应 亲水性 磁控溅射
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期刊文章 二氧化钛功能薄膜理论分析与研究进展
出处:真空 2006年第2期9-12,共4页
摘要:介绍了二氧化钛薄膜在催化和亲水方面的特性,对已有结论作了客观分析比较后,肯定了二氧化钛薄膜催化作用... 显示全部
关键词: 纳米二氧化钛 薄膜 光催化 亲水性 气敏特性 湿敏特性
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期刊文章 磁控溅射TiO2膜的真空度对薄膜亲水性影响的实验研究
出处:真空科学与技术学报 2007年第2期 155-158,共4页
摘要:采用反应溅射技术可以制备出具有亲水作用的TiO2薄膜。这种TiO2薄膜断面呈现柱状晶体结构。薄膜表面出现不... 显示全部
关键词: 薄膜 亲水特性 反应溅射 真空度
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期刊文章 磁控反应溅射TiO2薄膜的实验研究
出处:真空 2006年第4期13-15,共3页
摘要:应用直流和中频交流程序自动控制磁控溅射设备,利用金属Ti靶、纯Fe靶制备出了有一定厚度的质量较好的不同... 显示全部
关键词: 纳米二氧化钛薄膜 氧流量 亲水性 磁控溅射
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